現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展，對零部件表面性能提出了更加嚴格的要求，為了進一步提高滲氮后工件的耐磨、耐蝕性，產(chǎn)生了氮化氧化復(fù)合工藝。

氮化+氧化復(fù)合處理是一種新的化學熱處理工藝，它是在氮化表面硬化處理的基礎(chǔ)上，再進行一次氧化處理，目的是在ε白亮化合物層的表面覆蓋一層約2微米厚的黑色Fe3O4膜，使工件的表面既有高的硬度和耐磨性，又有優(yōu)良的耐蝕性能，被處理工件的表面性能超過了鍍硬鉻處理。

氮化+氧化復(fù)合處理解決了QPQ技術(shù)和鍍硬鉻處理對環(huán)境污染的問題。